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气相沉积炉在工作时会产生含有有害物质的尾气,这些有害物质会对环境造成污染。因此,现代气相沉积炉通常会配备尾气过滤器来减少尾气中的有害物质。尾气过滤器通常包括壳体...
随着科技的不断进步,气相沉积炉技术也在持续发展创新。一方面,为了满足各行业对薄膜质量和性能的更高要求,沉积工艺不断优化。例如,通过改进气体流量控制、温度均匀性控...
气相沉积炉使用等温或热梯度工艺实现致密化。将待处理的物体放置在相应的腔室中,并下沉放入高温炉的热区。在盖子被下放进入炉中并密封之前,所有的气体、水和电气和工艺仪...
气相沉积炉是一种关键的生产工具,用于制备C/C复合材料和C/SiC复合材料的预制体。其工作原理基于热化学反应,涉及高温、高压和气体反应。以下是气相沉积炉的基本原...
气相沉积炉是利用中频感应加热的高温烧结设备,气相沉积炉CVD是Chemical Vapor Deposition的简称,是指高温下的气相反应,例如,金属卤化物、...
很多朋友对于气相沉积炉这种设备仅存在听过它的名称的环节,对于气相沉积炉并不了解,今天,小编就带着大家了解一下何为气相沉积炉。化学气相沉积炉可用于以碳氢气体为碳源...