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随着科技的不断进步,气相沉积炉技术也在持续发展创新。一方面,为了满足各行业对薄膜质量和性能的更高要求,沉积工艺不断优化。例如,通过改进气体流量控制、温度均匀性控...
现在很多大学实验室、研究院都在采用气相沉积炉,与其他沉积方法相比,气相沉积炉除了具有设备操作简单、维护方便、灵活性强外,还具有以下一系列的优点:(1)在中温和高...
硅碳负极包覆设备是我厂专项研发的一款设备,主要用于生产外热式气氛保护回转炉锂电池正负极材料:如磷酸铁锂、锰酸锂、钴酸锂、三元、石墨负极等煅烧。稀土材料:如稀土抛...
磷酸铁锂煅烧炉是运用比较多的一种窑炉设备,就技术性能而言,通道式窑炉采用的是常规意义的静态堆放式煅烧,由于物料堆积,其在煅烧过程中存在易夹生、反应时间长、挥发物...
硅碳负极包覆设备主要用于生产硅碳复合负极材料(硅基材料)和高镍三元材料,作为未来高容量锂离子电池负极材料的新宠,这两种材料得到了广泛的应用。作为电池材料专用设备...
气相沉积炉是利用中频感应加热的高温烧结设备,气相沉积炉CVD是Chemical Vapor Deposition的简称,是指高温下的气相反应,例如,金属卤化物、...