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气相沉积炉是一种化工设备,咸阳陶瓷研究设计院有限公司从事该窑炉生产多年。化学气相沉积(CVD)炉技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表...
一、设备用途:化学气相沉积炉主要用于碳化硅(SIC)及氮化硼(BN)等新材料的制备。二、气相沉积炉设备特点:1 立式结构,气相沉积炉炉门采用丝杠升降或液压升降/...
气相沉积炉的作用是在高温下气相反应,例如,金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解,氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机...
气相沉积炉是时代发展进步的产物,气相沉积炉是通过化学反应的方式,利用加热、等离子激励或光辐射等各种能源,在反应器内使气态或蒸汽状态的化学物质在气相或气固界面上经...
现在很多大学实验室、研究院都在采用气相沉积炉,与其他沉积方法相比,气相沉积炉除了具有设备操作简单、维护方便、灵活性强外,还具有以下一系列的优点:(1)在中温和高...
气相沉积炉是我公司多年研发生产的设备,气相沉积炉是指在高温下的气相反应,例如,金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解,氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学...