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气相沉积炉是什么

时间:2022/10/18 10:54:00 来源:http://www.sinokiln.com/news879149.html

气相沉积炉是很多人都听说过的一个设备,但是可能大家并不了解气相沉积炉究竟是什么,那么下面就和咸阳陶瓷研究院一起来看一下吧。

气相沉积炉的作用是在高温下气相反应,例如,金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解,氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。

气相沉积炉这种技术刚开始发展时是作为涂层的手段而开发的,但是目前随着发展已经不只是应用于耐热物质的涂层了,现在应该已经应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等,是一个还比较广泛的领域。

气相沉积炉的特征在于:高熔点物质能够在低温下合成;析出物质的形态在单晶、多晶、晶须、粉末、薄膜等多种;不仅可以在基片上进行涂层,而且可以在粉体表面涂层等。在低温下可以合成高熔点物质。

上述是气相沉积炉的一些简单介绍,想具体了解请更多关于气相沉积炉的情况欢迎联系咸阳陶瓷研究设计院有限公司是一家从事回转炉等相关产品研发、生产多年,在实验回转炉、气相沉积炉、磷酸铁锂煅烧炉领域有一定名气,且是陕西知名的硅碳负极包覆设备厂家。欢迎广大客户前来参观咨询。

图为气氛回转炉


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