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石英制砣机

石英制砣机

来源:http://www.sinokiln.com/product941130.html

时间:2026/8/26 17:38:31

相关标签:泛半导体装备,石英制砣机,

产品详情

石英制砣升降机是石英玻璃制砣机的核心单元,用于在高温熔制过程中驱动沉积靶 / 基础杆同步完成升降与旋转,实现石英粉料逐层沉积成砣,核心要求是低速精密、高温防护、高稳定性。

设备主要参数:

1)设备总高:4000mm。

2)升降总有效行程:≥2600 mm;

3)主轴升降采用伺服电机控制,升降速度范围:0.5mm/h~500mm/min;

4)主轴旋转采用交流电机变频控制,旋转速度范围:1rpm~20rpm;

5)可承载石英砣重量可不小于3000kg。


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