现在很多大学实验室、研究院都在采用气相沉积炉，与其他沉积方法相比，气相沉积炉除了具有设备操作简单、维护方便、灵活性强外，还具有以下一系列的优点：
(1)在中温和高温下,气相沉积炉通过气态的初始化合物之间的气相化学反应而沉积固体;
(2)气相沉积炉可以在大气压(常压)或者低于大气压下进行沉积,一般说低压效果更好些;
(3)气相沉积炉采用等离子和激光辅助技术可以显著促进化学反应,使沉积可在较低的温度下进行;
(4)镀层的化学成分可以改变,从而获得梯度沉积物或者得到混合镀层;
(5)可以控制镀层的密度和纯度;
(6)绕镀性好,可在复杂形状的基体上以及颗粒材料上沉积;
(7)气体条件通常是层流的，可在基体表面形成厚的边界层;
(8)沉积层通常具有柱状晶结构,不耐弯曲,但通过各种技术对化学反应进行气相扰动，可以得到细晶粒的等轴沉积层;
(9)气相沉积炉可以形成多种金属、合金、陶瓷和化合物镀层。只要原料气稍加改变采用不同的工艺参数便可制备性能各异的沉积层;可涂覆各种复杂形状工件,如带槽、沟、孔或盲孔的工件;涂层与基体间结合力强等。
